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| 型 号 | TSAW100×100-XY-（A） |
| 行程范围（X轴*Y轴）（mm） | 100x 100 |
| 螺杆导程（mm） | 4 |
| 重复定位精度（μm） | ＜5； （-A＜3） |
| 8细分下分辨率（μm） | 1.25 |
| 步进电机（步距角） | 42B（0.9°） |
| 额定工作电流（A） | 1.7 |
| 大负载（kg） | 20 |
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