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      Carrier.S100-OB.Z 物镜⾃动对焦扫描台

      • 产品型号：
      • 产品时间：2024-05-21
      • 简要描述：压电 · ⼤范围扫描运动 — Carrier.S100-OB.Z
        室温 ·压电运动⽅案 —“Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征
      • 产品介绍

      压电 · ⼤范围扫描运动 — Carrier.S100-OB.Z

      室温 ·压电运动⽅案 —“Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

      Carrier.S100-OB.Z 物镜⾃动对焦扫描台产品特⾊

      • 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；

      • 闭环定位精度优于 1nm；

      • 最⼤负载 500 g；

      • 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

      • ⽀持⽆磁( .NM)和⾼真空( .UHV)选件升级


      Carrier.S100-OB.Z 物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数

      可选版本 ⇨

      正常版本


      .NM     绝对⽆磁版本；

      .HV，     ⾼真空版本 ;

      .UHV ，超⾼真空版本；

      1

      运动⽅向

      Z 轴

      2

      ⾏程

      100 um

      3

      线性度

      0.02%

      4

      摇摆 / 俯仰

      30 urad

      5

      内置传感器

      电容式传感

      6

      传感器噪⾳

      0.3 nm

      7

      Z ⽅向分辨率，开环

      0.1 nm

      8

      稳定时间 (90%位置到达)

      15 ms

      0.4 N/um

      9

      刚性

      10

      共振频率(⽆负载)

      650 Hz

      11

      共振频率( 150 g 负载)

      275 Hz

      12

      整体重量

      270 g

      13

      不锈钢304 ，铝合⾦

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