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      大范围压电扫描台Carrier.S200.XY

      • 产品型号：
      • 产品时间：2024-05-21
      • 简要描述：室温 ·压电运动⽅案 —“Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征
      • 产品介绍

      室温 ·压电运动⽅案 —“Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征


      ⼤范围压电扫描台Carrier.S200.XY产品特⾊

      • 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；

      • 闭环定位精度优于 1nm；

      • 最⼤负载 500 g；

      • 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

      • ⽀持⽆磁( .NM)和⾼真空( .UHV)选件升级


      Carrier.S200.XY ⼤范围压电扫描台 — 技术参数
       

      可选版本 ⇨

      正常版本

      .NM     绝对⽆磁版本；

      .HV，     ⾼真空版本 ;

      .UHV ，超⾼真空版本；

      1           底⾯尺⼨*⾼度

      180 mm × 150 mm × 20 mm

      2           主体材料

      铝合⾦

      3            中空透孔

      80 mm × 60 mm

      4           运动⾏程

      200 um × 200 um

      5            闭环分辨率

      优于1nm

      6           推荐最⼤负载

      500 g

      7            闭环传感器

      电容式

      8            电容精度

      0.3 nm

      9           压电电容(X, Y)

      6.5 uF

      15 到 40 摄⽒度

      10          推荐使⽤温度

      11          质量

      1 kg

      12          安装

      螺纹孔⾃动兼容 Carrier.L7550.XY

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