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NXP系列多维度光学耦合台产品概述
说明：
NXP 系列多维度光学耦合台包含六轴耦合台和三轴耦合台，以及可用于其他产品的手动驱动和电动驱动。它适用于光纤、波导、光电封装和任何其他高分辨率对准或定位应用，包括通用实验室任务。创新的柔性设计与模块化驱动系统相结合，提供了卓*的性能和灵活性。
NXP 系列六轴耦合台的位移台在移动平台前都有不锈钢探针，标记所有旋转轴的公共支点，所有旋转轴都具有公共支点，可以减少系统的对准时间。
NXP 系列多维度光学耦合台产品内部没有导轨轴承，平行挠性设计确保滑台连续的运动和长期的稳定性，非常适用于亚微米级分辨率的应用。对于纳米定位应用，提供内置压电驱动器的版本。这种结构相对于滑台组维的方式，稳定性有极大的提高，在温度较为恒定的条件下，产品适用于光纤对准等需要保持静态粘接的应用中。
NXP 系列多维度光学耦合台可进行手动驱动 / 电动驱动快换，可满足空间中不同维度使用混装驱动器。
命名规则
NXP系列多维度光学耦合台选型表
注：表格为NXP系列产品型号汇总，其中红色标注型号为研发中产品
六轴高精度耦合台
型号 | NXP-6M | NXP-6P | NXP-6NP | |
行程 | X 、Y 、Z直线行程为4 mm。Rx、 Ry、 Rz(摆动、俯仰和偏转)行程为4 。(70mrad) | |||
传动比 | X轴和Y轴传动比为1： 1.5，驱动器每平移1 mm，位移台将平移1.5 mm；Z轴的传动比为1:1；三个旋转轴驱动每平移 1μm，旋转17μrad | |||
分辨率 | 见驱动 | |||
旋转中心 | 公共旋转中心；最大串扰100 µm | |||
压电 | 规格 |
无 | 开环压电 | 闭环压电 |
行程 | 19µm | |||
分辨率 | X 、Y 、Z 1nm / Rx、 Ry、 Rz 0.018 µrad | |||
最大负载 | 1kg | |||
共振频率 | >130 Hz(±10%) | |||
热稳定性 | 1μm/℃ | |||
三轴高精度耦合台
型号 | NXP-3M | NXP-3P | NXP-3NP | |
行程 | 4 mm | |||
传动比 | 1:1 | |||
分辨率 | 见驱动 | |||
串扰 | 100um | |||
顶板平行度 | ＜100µm | |||
压电 | 规格 | 无 | 开环压电 | 闭环压电 |
行程 | 19µm | |||
分辨率 | X 、Y 、Z 1nm / Rx、 Ry、 Rz 0.018 µrad | |||
最大负载 | 1kg | |||
共振频率 | >130 Hz(±10%) | |||
热稳定性 | 1μm/℃ | |||
驱动
型号 | DNXP-M | DNXP-A |
驱动类型 | 手动 | 电动 |
行程 | 13mm 与NXP系列设备配合使用后行程4mm | 8mm 与NXP系列设备配合使用后行程4mm |
分辨率 | 粗调10 µm，微调0.5 µm | 1.25 µm |
电机 | 无 | 28步进电机，步距角1.8。 |
限位 | 内置限位开关 | |
定位精度 | 双向重复性为5.0 µm |
NXP多维度光学耦合台尺寸图
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