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卓立-气浮导轨滑台QF系列产品概述
说明：
QF系列是采用的静压气浮导轨作为保持机构，直线电机驱动的直线滑台。该系列滑台具有 高稳定度、高分辨率，精密位移，大负载的功能。采用气浮导轨为保持机构，工作过程没有摩擦，无灰尘产生，没有爬行现象。直线电机作为驱动机构，齿槽小，分辨率高，轻松实现亚微米级定位需求。产品尺寸较多，可以根据需要灵活选择，QF 系列产品适合用于半导体行业或其他对于精密位移亚微米级调整有需求的客户。台面多种标准孔位的安装孔适合不同需要，下方标准固定孔方便将其与其他滑台连接，组成多维移动台。
特点：
· 采用气浮静压导轨，运动无爬行，直线度好，负载可控制， 稳定性好；
· 采用直线电机，微步能力好，驱动力可控，速度稳定；
卓立-气浮导轨滑台QF系列命名规则：
QF 25-300 S-BNA
QF 系列代码： QF:单轴空气轴承类滑台 QFD:XY组合空气轴承类滑台 QFH:龙门组合空气轴承类滑台 |
25 台面宽度： 25:250mm 30:300mm |
300 有效行程： 100:100mm 200:200mm 300:300mm |
S 基座材质： A:铝合金 S:大理石 C:碳化硅 |
B 分辨率： 1:0.1 μm S:50nm B:20nm |
N 电机类型： N:无铁芯 M:有铁芯 |
A 台面材质： A:铝合金 T:其它 |
以上命名规则除技术规格列表内标准产品，其余配置请联系销售进行定制。
QF系列气浮导轨滑台选项表
型号 | QF25-100A-BNA | QF25-200A-BNA | QF25-300A-BNA | QF25-400A-BNA |
台面尺寸(mm) | 245x200(运动方向) | |||
厚度(mm) | 120 | |||
移动量(mm) | 100 | 200 | 300 | 400 |
光栅尺分辨率(nm) | 20 | |||
驱动方式 | 无铁芯直线电机 | |||
导轨 | 一体式静压导轨 | |||
双向重复精度(μm) | 0.4 | |||
无*正定位精度(μm) | 1.2 | |||
直线度(μm) | 2 | 2.5 | 3 | 3 |
俯仰(arcsec) | 4.5 | |||
偏摆(arcsec) | 2.1 | |||
主体材料及表面处理 | 铝合金，黑色硬质阳极氧化处理 | |||
中心负载(Kg) | 10/μm | |||
型号 | QF25-400S-BNA | QF25-500S-BNA | QF25-600S-BNA | QF25-800S-BNA |
台面尺寸(mm) | 290x200(运动方向) | |||
厚度(mm) | 189 | |||
移动量(mm) | 400 | 500 | 600 | 800 |
光栅尺分辨率(nm) | 20 | |||
驱动方式 | 无铁芯直线电机 | |||
导轨 | 气浮脚式静压导轨 | |||
双向重复精度(um) | 0.3 | |||
无*正定位精度(μm) | 1.2 | |||
直线度(μm) | 2 | 3 | 5 | 5 |
俯仰(arcsec) | 2 | |||
偏摆(arcsec) | 2 | |||
主体材料及表面处理 | 大理石，铝合金 | |||
中心负载(Kg) | 15/um | |||
说明 ：
1.以上测试数据在使用TMC-NET-2L 控制系统下，采用GB/T17421.2 双轴线拟合下，采用等级为VC-C 环境下隔振系统所测试；
2.测试用气体0.5MPa 压缩空气，做过滤和除水工艺；
3.测试环境介于万级~十万级洁净空间内；
4.测试温度20±1℃,湿度40~60%。
特点和选型指导
项目 | xxxA | xxxS | xxxC |
材质 | 铝合金 | 大理石 | 碳化硅陶瓷 |
导轨长度(mm) | 200~800 | 400~3000 | 400~2000 |
外形尺寸(mm) | 超小~中 | 中~超大 | 小、中、大 |
制作方式 | 机加工 | 磨削 | 烧制 |
重复精度(μm) | 0.3 | 0.3 | 0.25 |
直线度(μm) | 1~3 | 2~5 | 2~3 |
组合形式 | X, XY(小) | X、XY、龙门 | X、XY、龙门 |
造价(元) | 1~10 | 5~100 | 50~1000 |
尺寸图：
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