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拉曼/熒光/光電流綜合測試係統 STS係列
產品概述
基於RTS-mini顯微係統而搭建，集成拉曼/熒光/光電流原位測試功能。該係統可原位探測拉曼、熒光及光電流信號。配合高精度微米電動位移台，實現Raman Mapping，PL Mapping以及激光誘導光電流成像（LBIC)。深度表征材料內部的分子振動能級與轉動能級結構信息，光生載流子的生成與複合機製，器件吸收和電荷生成的微區特性，光電材料界麵以及半導體結區的品質分布等特性。
拉曼/熒光/光電流綜合測試係統 STS係列技術參數
拉曼/拉曼Mapping | 拉曼頻移範圍 | 60-6000cm-1 @532nm激光器 |
共焦方式 | 光纖共聚焦 | |
高靈敏度 | 矽三階拉曼峰的信噪比好於20:1，並能觀察到四階峰 | |
空間分辨率 | ≤1μm@100X物鏡，NA0.9，532nm單縱模激光器 | |
葫芦娃污APPCCD探測器 | 分辨率≥2000x256 量子效率在700nm-870nm區間處>90%， 葫芦娃污APP範圍：200 ~ 1100 nm | |
熒光/熒光壽命成像 | 葫芦娃污APP掃描範圍 | 200-900nm |
最小時間分辨率 | 16ps | |
熒光壽命測量範圍 | 500ps-10μs | |
空間分辨率 | ≤1μm@100X物鏡@405nm皮秒脈衝激光器 | |
光電流/光電流成像 | 激光器（光源） | 標配532nm激光器，能量穩定性1%@4小時 可選配2路激光器用於光電流測試 |
數據采集 | 電流源表：Keithley 2450 測量範圍：1nA – 1A 暗噪聲：50pA 分辨率：20fA 準確度： 0.03% | |
探針台 | 直徑65mm真空吸附卡盤 探針座和樣品整體二維移動，方便樣品位置與光斑位置重合 樣品位置單獨二維移動，方便同類樣品更換 樣品位置移動行程25mm，分辨率5μm 探針座：XYZ行程12mm，分辨率0.7μm 探針：鎢針，直徑5μm，10μm，20μm可選 | |
測試功能 | 光電流掃描（Mapping）：可以設定固定的電壓，逐點獲取電流值 I-V曲線掃描（Mapping）：可以設定*定的電壓區間，逐點獲取I-V曲線 | |
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